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中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所反應(yīng)離子刻蝕機(jī)招標(biāo)

發(fā)布時(shí)間 :2022-04-27 電力投標(biāo)網(wǎng)

所屬分類:項(xiàng)目管理

所在地區(qū):東城區(qū)招標(biāo)

關(guān) 鍵 詞:軟件

中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試 正文內(nèi)容

中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所反應(yīng)離子刻蝕機(jī)招標(biāo)

發(fā)布日期:2022-04-26

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金來源100%自籌資金。受中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所(招標(biāo)人)的委托,對該項(xiàng)目進(jìn)行國際招標(biāo)采購。
1.招標(biāo)范圍
1.1貨物名稱:反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
1.2招標(biāo)編號:
1.3設(shè)備組成及技術(shù)性能:
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1.3.2技術(shù)性能
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1.3.2.2上電極:上電極采用鉸鏈,開腔時(shí)無需將整個(gè)反應(yīng)腔升起;上電極中央配置用于原位檢測的光學(xué)窗口。
1.3.2.3射頻源:射頻發(fā)生器:頻率13.56MHz,功率≥600W;可預(yù)選和控制正向功率或直流偏置電壓;測量、顯示正向功率和直流偏置電壓。
1.3.2.4真空系統(tǒng):反應(yīng)腔室配有前級泵及渦輪分子泵;采用防腐蝕渦輪分子泵,抽速≥340L/s;
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1.3.2.6預(yù)真空室Loadlock:配置氣動傳送機(jī)構(gòu)和透明上蓋,自動、平穩(wěn)地裝卸樣品;配置單獨(dú)的干泵和真空計(jì),本底真空≤10-1mbar;真空漏率<5×10-4mbar?L/s。腔室可單獨(dú)用氮?dú)獯祾摺?br />1.4數(shù)量:1臺(套)。
1.5交貨期:合同簽訂后8個(gè)月內(nèi)交貨。
1.6項(xiàng)目現(xiàn)場:中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所。
2.對投標(biāo)人的資格要求
2.1投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格,提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供授權(quán)書。
2.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格;接受委托參與項(xiàng)目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。
3.招標(biāo)文件獲取
3.1凡有意參加投標(biāo)者,請于2022年4月26日至2022年5月6日17時(shí)(北京時(shí)間)。
3.2招標(biāo)文件售價(jià)800元,售后不退。


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聯(lián)系人:郝亮
手機(jī):13146799092
郵箱:1094372637@qq.com
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