關于沈陽儀表科學研究院有限公司電子束蒸發(fā)設備采購項目公開招標
公告發(fā)布時間：2024年8月20日
1.招標條件
本招標項目為電子束蒸發(fā)設備采購項目，招標人為沈陽儀表科學研究院有限公 司，資金來源為國企自籌資金。該項目己具備招標條件，現對電子束蒸發(fā)設備采購 項目進行公開招標。
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2.1招標內容：電子束蒸發(fā)設備1套，利用電子束給材料加熱，使材料在高真 空下蒸發(fā)至基片表面，形成薄膜；最高限價220萬元。
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2.2.1 1ift-off模式下,6時wafer一次可加工不少于9片；
2.2.2蒸發(fā)厚度均勻性：片內5%以內，片間5%以內，批次3%以內（去邊5mm測量）；
2.2.31ift-off和行星模式下的轉盤采用磁流體直驅方式，減少機械傳動，增加設備穩(wěn)定性；
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2.4交貨地點：沈陽市渾南區(qū)渾南東路49一29號。
3.投標人資格要求
3.1投標人應具有獨立法人資格；
3.2代理商或經銷商參與投標應具有制造商授權；
3.3投標人同類產品在客戶端無危險事故記錄；
3.4本次招標不接受聯合體投標。
4.招標文件的獲取
4.1發(fā)售時間：2024年8月21日9：00時至2024年8月27日16:00時（北 京時間），節(jié)假日除外。
4.2招標文件每套售價500元，售后不退。
5.投標文件的遞交
5.1 投標文件遞交的截止時間為2024_年9月12日14時30分前現場遞交沈陽市
友情提醒：報名前與下方聯系人索取投標登記表，以及辦理后續(xù)事宜。
聯系人：李 工 
電 話：17610398736(微信同號)
郵 箱：17610398736@163.com
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